前言：电子工业是VOCs排放的主要行业之一，电子工业废气VOCs排放种类有30多种，组分复杂。电子工业废气VOCS主要来源于对电子产品的表面
电子工业是VOCs排放的主要行业之一，电子工业废气VOCs排放种类有30多种，组分复杂。电子工业废气VOCS主要来源于对电子产品的表面涂层工艺环节所用溶剂型涂料和清洗工艺环节所用有机溶剂所致。电子工业废气VOCS常见的种类有：异丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇单甲醚、苯乙烯、乙酸乙酯、正丁醇、甲基异丁基甲酮、二氯甲烷、环已酮、乙苯、正庚烷、甲氢呋喃、三氯乙烯和氯仿等。一般来说，废气排放中风量较大，VOCs浓度较低。半导体工艺过程中有机废气具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和浓度低(通常小于25ppmv)的特点，电子工业废气VOCs排放中还含有酸性气体、碱性气体和一些有毒气体。
活性炭吸附法
吸附法也是应用比较广泛的一种废气处理工艺，材料易得，设备简单，处理速度快，效率高。这种方法主要利用活性炭以及沸石分子筛等多孔性物质将废气中的有毒有害分子吸附到材料中，达到空气净化的目的。活性炭吸附方法的处理效率能够达到90%以上，技术相对比较成熟，但吸附剂用量很大，吸附剂的容量也有一定的限制，工作人员难以有效掌握吸附剂的饱和点而影响废气处理工作的持续开展。在活性炭的处理过程中，如果废气浓度较高，可以适当加大吸附介质的用量，并利用脱附装置进行活性炭的循环使用，有效降低吸附介质的使用成本，提高废气处理工作的经济效益。